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• 幫助客戶解決控壓問題 壓力無法控制或控制不穩定問題
• 節流閥設置困難 確認節流控制器狀態，例如：通信
• 功能測試 零點校正、學習、增益、相位、報告系統狀態等
• 針對MKS 651D Throttle controller
For Novellus 1.Altus, 2.Sequel, 3.Speed
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