VAT Gate Valve 壓力調整器

Smart Pressure Control For AMAT  ENDURA IMP PVD Chamber

•  問 題: 
1.傳統的閘閥控制僅有開/關位置。
2.腔室壓力控制需要通過手動操作來調整。
3.工具停機時間和工程師工時浪費在服務壓力上。

•  解 決 方 案:
使用步進電機自動調整閘閥的中間位置以穩定壓力。
通過DH智能控制器和步進電機實現“閉環控制”來服務腔室壓力。

•  優 點:
1.減少“壓力穩定步驟”以提高“每小時晶圓數(WPH)”。
2.支持RCM（配方控制管理系統）功能，廣泛應用於不同壓力條件下的所有配方。
3.優化冷凍泵效率，延長預防性維護(PM)週期時間。