Compact Ozone System 微型臭氧系統

1. O3 Concentration: Max350g/m3;
2. Flow Rate: 0.5-20slm;
3. Integration: MFC, Pressure sensor, O3 Sensor, APC;
4. O3 Output: 25-200g/H
5. Full Water Cooled for OSC and the Ozone cells;
6. Communication: Modbus TCP, RS485, Remote I/O;
7. High Delivery O3 pressure, up to 45psig;
8. Easy to Install, Easy to use, user-friendly HMI;
9. Very low thermal load, high O3 performance

<Technical Advantage>

*高散熱功率，電源與腔體一體式冷卻技術

*内置高精度臭氧濃度計、高響應速度APC和MFC

*半導體级超潔淨臭氧放電室，氣體中金属含量遠小於100ppt

<Application Area>

                                       ALD                             SACVD

                        ♦臭氧濃度：200~300g/m3                                           ♦臭氧濃度≧12.5wt.%(185g/m3)

                        ♦濃度波動≦±1%                                                               ♦濃度波動≦±2%

                        ♦金屬雜質≦0.01ppb