產品歷程/Milestone

•  於江蘇設立新廠房。
•  開發DIO3, ODS與COS產品。

•  NVLS EPD 控制器，針對 SEQUEL 系統的最佳化方案。 
•  MCT 衍生產品能與其他產品互相搭配，發揮協同效果。

•  AX8407 O3 generator overhaul 於台積電15廠進行上機測試。
•  開發臭氧感測器API校準。
•  為氣體供應商開發Gas Blender Box。
•  開發ODS System MP。

•  MCT產品獲得台積電與聯華電子的認證。
•  進行半導體設備、零組件開發，並在中國取得認證。

•  MCT產品進行上機測試，並在ITRI Lab獲得認證。

•  獲得中國無錫Hynix, AX8560 O3 generator維修認證。
•  為Horiba MFC研發檢修平臺(Z500 Mode)。
•  於Mo-tech solar廠獲得Ebara的Ozone Cell overhaul認證。
•  AX8407 O3 generator overhaul 於工研院 ODS System進行上機測試。
•  為台積電15 A/B廠進行Olympus Inspection Tool的改造專案。

•  於竹南設立廠房
•  進行CIP專案開發(Pressure Control於台積電6廠上機)。
•  開發Throttle Valve (253B / 653B)的檢修平臺，並完成Ozone cell overhaul 解決方案。

•  鼎樺精密有限公司成立，設立於台中。